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ProRGA-7000殘余氣體質譜分析儀
產品概述：
ProRGA-7000是聚光科技基于質譜分析技術平臺開發的一款高性能殘余氣體分析儀，用于檢測特定真空區域內關鍵氣體分壓，適用于真空度10Pa到常壓應用場合。具有毫秒級響應速度和ppb級的靈敏度，非常適合檢測真空泄露狀態，如電池、半導體、凍干機等真空腔體內部特定過程相關氣體的污染水平或動態波動，并及時提醒用戶可能產生的潛在風險，提升產品良品率。
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ProRGA-7000是聚光科技基于質譜分析技術平臺開發的一款高性能殘余氣體分析儀，用于檢測特定真空區域內關鍵氣體分壓，適用于真空度10Pa到常壓應用場合。具有毫秒級響應速度和ppb級的靈敏度，非常適合檢測真空泄露狀態，如電池、半導體、凍干機等真空腔體內部特定過程相關氣體的污染水平或動態波動，并及時提醒用戶可能產生的潛在風險，提升產品良品率。
產品特點
●檢測效率高
支持多個標記物同時檢測，單組分檢測時間小于0.5S。
●真空適應性強
適用于真空度10Pa到常壓應用場合下ppb級殘余氣體分析。
●設計緊湊
采用模塊化設計、結構簡單、尺寸小巧，可以方便嵌入生產工藝中。
●自動校準
具備自動校準功能，消除傳感器運行漂移，確保長期數據穩定性。
●智能診斷
功能強大的殘余氣體專用分析軟件，具備自動標定、數據處理、儀器調諧和方法開發等多種功能，并集成診斷工具，隨時監控儀器及工藝參數狀態。
支持多個標記物同時檢測，單組分檢測時間小于0.5S。
●真空適應性強
適用于真空度10Pa到常壓應用場合下ppb級殘余氣體分析。
●設計緊湊
采用模塊化設計、結構簡單、尺寸小巧，可以方便嵌入生產工藝中。
●自動校準
具備自動校準功能，消除傳感器運行漂移，確保長期數據穩定性。
●智能診斷
功能強大的殘余氣體專用分析軟件，具備自動標定、數據處理、儀器調諧和方法開發等多種功能，并集成診斷工具，隨時監控儀器及工藝參數狀態。
應用領域
電池、半導體、凍干機等行業
