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FAAS 8000ICS 在(zai)線陰(yin)陽(yang)離(li)子監(jian)測系統
FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統
產品概述：
FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統采用撞擊式氣體吸收技術結合離子色譜分析方法，實現了多點采樣、氣體自動吸收富集、在線質量控制等全自動在線監測功能，解決了潔凈室AMC監測過程中人員投入大、數據監測頻率低、數據反饋不及時等問題；可應用于半導體廠區氣態分子污染物（AMC）中酸性物質（MA）、堿性物質(MB)污染物的在線監測。
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FAAS 8000ICS 在(zai)(zai)線(xian)陰陽離子監(jian)(jian)測系統(tong)采用(yong)撞擊(ji)式氣(qi)體吸(xi)收技(ji)術結(jie)合(he)離子色譜分析方法，實現了(le)多點采樣(yang)、氣(qi)體自動(dong)吸(xi)收富集、在(zai)(zai)線(xian)質量控制(zhi)等(deng)(deng)全(quan)自動(dong)在(zai)(zai)線(xian)監(jian)(jian)測功能(neng)，解(jie)決了(le)潔凈(jing)室AMC監(jian)(jian)測過程中人員投入大、數據監(jian)(jian)測頻率低(di)、數據反饋(kui)不及時(shi)等(deng)(deng)問題(ti)；可應用(yong)于半導(dao)體廠區(qu)氣(qi)態(tai)分子污染(ran)物(wu)（AMC）中酸(suan)性物(wu)質（MA）、堿(jian)性物(wu)質(MB)污染(ran)物(wu)的(de)在(zai)(zai)線(xian)監(jian)(jian)測。
產品特點
數據可(ke)靠
系統實現(xian)了自(zi)(zi)動(dong)遠距離采樣(yang)、自(zi)(zi)動(dong)富集(ji)吸收、自(zi)(zi)動(dong)質量控制(zhi)、自(zi)(zi)動(dong)分析、數據自(zi)(zi)動(dong)上傳全(quan)流程自(zi)(zi)動(dong)化。
避免人工誤(wu)差引入(ru)，數據準確可靠。
靈敏(min)度高(gao)
大(da)體積進樣濃縮(suo)，大(da)幅提高系統檢測能(neng)力，檢出限可(ke)達(da)亞ppt級，縮(suo)短系統運行周期。
監測面廣
單(dan)套系統最多可配置(zhi)32個點位的樣品采(cai)集；
系統通過真空泵遠距離采(cai)樣，可覆蓋300m范圍內樣品的(de)在(zai)線監測。
設計(ji)合規(gui)
系統管路及閥組采用潔(jie)凈的(de)聚四氟乙(yi)烯材料(liao)設計，滿足SEMI F57中相關析出雜質的(de)控制(zhi)要求。
吸收高效
在線雙吸收模塊設(she)計，有利(li)于節約樣品分析時間(jian)，數(shu)據輸出更快更高(gao)效！
應用領域
AAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統主要應用于潔凈室環境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監測，可擴展至大氣中離子污染物的檢測。
