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產品概述
FAAS 8000ICS 在(zai)線陰陽離子(zi)監測系統(tong)采用撞擊式氣(qi)體吸收技術結合(he)離子(zi)色譜分(fen)析方法，實(shi)現了(le)多(duo)點采樣、氣(qi)體自動(dong)吸收富集(ji)、在(zai)線質(zhi)量控制等全自動(dong)在(zai)線監測功能，解決了(le)潔凈室AMC監測過程(cheng)中(zhong)人(ren)員(yuan)投入大、數據監測頻率低、數據反饋(kui)不及時等問題(ti)；可應用于半導體廠區(qu)氣(qi)態分(fen)子(zi)污(wu)染物（AMC）中(zhong)酸性(xing)物質(zhi)（MA）、堿性(xing)物質(zhi)(MB)污(wu)染物的在(zai)線監測。
產品特點
數據可靠
系統實(shi)現了自(zi)(zi)動(dong)(dong)遠距離采樣、自(zi)(zi)動(dong)(dong)富集吸收、自(zi)(zi)動(dong)(dong)質(zhi)量控制、自(zi)(zi)動(dong)(dong)分析、數據自(zi)(zi)動(dong)(dong)上傳全(quan)流(liu)程自(zi)(zi)動(dong)(dong)化。
避免人工誤(wu)差(cha)引入(ru)，數據準(zhun)確可靠。
靈敏度高(gao)
大體積進樣濃縮(suo)，大幅提(ti)高(gao)系統(tong)檢測能力，檢出限可達亞ppt級，縮(suo)短系統(tong)運行周期。
監測面廣
單套系統(tong)最多可配置(zhi)32個點位的樣品采集；
系統通過真(zhen)空泵遠距離采樣，可覆蓋300m范圍內樣品的在(zai)線(xian)監測。
設計合規
系統管(guan)路及閥組采(cai)用潔凈的(de)聚四氟乙烯材料設(she)計，滿足SEMI F57中相(xiang)關(guan)析出雜質的(de)控制要求。
吸收高效(xiao)
在(zai)線雙吸收(shou)模塊設計(ji)，有利于節(jie)約(yue)樣(yang)品分析時間，數據輸出更快更高效！
應用領域
AAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統主要應用于潔凈室環境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監測，可擴展至大氣中離子污染物的檢測。
