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產品概述
FAAS 8000ICS 在線陰陽(yang)離(li)子(zi)監(jian)測系統(tong)采用撞擊(ji)式氣(qi)體(ti)吸收技術結合(he)離(li)子(zi)色譜(pu)分析方法，實現(xian)了多點采樣、氣(qi)體(ti)自動吸收富集、在線質量控制(zhi)等全自動在線監(jian)測功能，解(jie)決(jue)了潔凈室AMC監(jian)測過程(cheng)中(zhong)人(ren)員投入大、數據(ju)監(jian)測頻率低、數據(ju)反饋不及時(shi)等問題；可應用于(yu)半(ban)導體(ti)廠區氣(qi)態(tai)分子(zi)污(wu)染(ran)物（AMC）中(zhong)酸性(xing)(xing)物質（MA）、堿性(xing)(xing)物質(MB)污(wu)染(ran)物的在線監(jian)測。
產品特點
數據可靠
系統實現(xian)了自動(dong)遠距離采(cai)樣(yang)、自動(dong)富集吸收、自動(dong)質量控制(zhi)、自動(dong)分析、數(shu)據自動(dong)上傳全(quan)流程(cheng)自動(dong)化。
避(bi)免人工誤(wu)差引入，數據準確可靠。
靈敏度高
大(da)(da)體積進樣濃縮(suo)，大(da)(da)幅提高系(xi)統(tong)檢測能力，檢出(chu)限可達(da)亞ppt級，縮(suo)短系(xi)統(tong)運(yun)行周期。
監測面廣
單套系統最多可(ke)配置32個(ge)點(dian)位的樣品采集；
系統通(tong)過真(zhen)空泵(beng)遠(yuan)距離采樣(yang)，可覆(fu)蓋300m范圍(wei)內樣(yang)品的在線監測。
設計合規
系統管(guan)路(lu)及閥組采(cai)用(yong)潔凈(jing)的聚四氟(fu)乙烯材料(liao)設計，滿足(zu)SEMI F57中相關析出雜(za)質的控制要求。
吸收高(gao)效
在(zai)線雙(shuang)吸收(shou)模塊設計(ji)，有利于節約樣品分(fen)析時間，數(shu)據輸出更快更高(gao)效(xiao)！
應用領域
AAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統主要應用于潔凈室環境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監測，可擴展至大氣中離子污染物的檢測。
