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FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統
產品概述：
FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統采用撞擊式氣體吸收技術結合離子色譜分析方法，實現了多點采樣、氣體自動吸收富集、在線質量控制等全自動在線監測功能，解決了潔凈室AMC監測過程中人員投入大、數據監測頻率低、數據反饋不及時等問題；可應用于半導體廠區氣態分子污染物（AMC）中酸性物質（MA）、堿性物質(MB)污染物的在線監測。
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FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監測(ce)系(xi)統采用撞擊式氣體吸(xi)收(shou)技術結(jie)合離子色譜分析方法，實現了(le)多點采樣、氣體自動吸(xi)收(shou)富集(ji)、在線質量控制等(deng)全自動在線監測(ce)功能，解決了(le)潔(jie)凈室AMC監測(ce)過程中人員投(tou)入(ru)大、數(shu)(shu)據監測(ce)頻率(lv)低、數(shu)(shu)據反饋不及時等(deng)問題；可應(ying)用于半導體廠區氣態分子污染物（AMC）中酸性物質（MA）、堿性物質(MB)污染物的在線監測(ce)。
產品特點
數(shu)據可靠
系統實(shi)現了自(zi)動(dong)遠(yuan)距離(li)采樣、自(zi)動(dong)富集吸收、自(zi)動(dong)質量控制、自(zi)動(dong)分(fen)析(xi)、數據自(zi)動(dong)上傳全流程自(zi)動(dong)化(hua)。
避免(mian)人(ren)工誤差(cha)引入，數(shu)據(ju)準(zhun)確可靠。
靈敏度高
大體積(ji)進樣濃縮，大幅(fu)提高系(xi)統檢(jian)測能力，檢(jian)出限可達亞(ya)ppt級，縮短系(xi)統運(yun)行周期(qi)。
監測(ce)面(mian)廣
單套系統最多可(ke)配置32個點位的樣品采集；
系(xi)統通過真(zhen)空泵(beng)遠距離采樣(yang)，可(ke)覆蓋300m范圍內樣(yang)品的在線監測。
設計(ji)合規
系統(tong)管路及閥組采(cai)用潔凈(jing)的聚四氟乙烯材料設計，滿足SEMI F57中相(xiang)關(guan)析出雜(za)質的控制要(yao)求。
吸收高效
在線雙吸(xi)收模塊(kuai)設計，有(you)利于節約樣品分析時間(jian)，數據輸(shu)出更(geng)(geng)快更(geng)(geng)高(gao)效！
應用領域
AAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統主要應用于潔凈室環境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監測，可擴展至大氣中離子污染物的檢測。
