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產品概述
FAAS 8000ICS 在(zai)線(xian)陰陽離子監測(ce)(ce)系統(tong)采(cai)用撞擊(ji)式(shi)氣體吸收技術結合離子色譜分(fen)析方法，實(shi)現了多點采(cai)樣、氣體自(zi)動(dong)吸收富集(ji)、在(zai)線(xian)質量控制(zhi)等全自(zi)動(dong)在(zai)線(xian)監測(ce)(ce)功(gong)能，解(jie)決了潔(jie)凈室AMC監測(ce)(ce)過(guo)程中人員投入大、數據(ju)監測(ce)(ce)頻(pin)率低、數據(ju)反饋(kui)不及時等問題；可應用于半導體廠區氣態分(fen)子污(wu)染物(wu)（AMC）中酸性物(wu)質（MA）、堿性物(wu)質(MB)污(wu)染物(wu)的在(zai)線(xian)監測(ce)(ce)。
產品特點
數據可靠
系(xi)統實現(xian)了(le)自動(dong)遠距離(li)采樣、自動(dong)富集(ji)吸收、自動(dong)質量控制、自動(dong)分析、數據自動(dong)上傳全流程自動(dong)化。
避免人工誤(wu)差引入，數據準(zhun)確可靠(kao)。
靈(ling)敏度高
大(da)體積進樣濃縮，大(da)幅提高系統檢測能力，檢出(chu)限可達亞ppt級，縮短(duan)系統運行周期(qi)。
監測面廣
單套系統最多可(ke)配置32個點位的(de)樣品采(cai)集(ji)；
系(xi)統通過(guo)真(zhen)空泵遠距離(li)采樣，可覆(fu)蓋300m范圍內樣品的在線監測。
設計合規
系統管路(lu)及閥組采用潔凈的聚(ju)四氟乙烯材(cai)料設(she)計，滿足(zu)SEMI F57中(zhong)相(xiang)關析(xi)出雜質的控制要(yao)求。
吸收高效
在線雙吸收模塊設計，有利于節約樣品分(fen)析時間(jian)，數據(ju)輸出更(geng)快更(geng)高效！
應用領域
AAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統主要應用于潔凈室環境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監測，可擴展至大氣中離子污染物的檢測。
