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產品概述
FAAS 8000ICS 在(zai)線(xian)(xian)陰陽(yang)離子監(jian)測(ce)(ce)系統采用撞(zhuang)擊式氣體吸(xi)收技術(shu)結合離子色譜分析方法，實(shi)現(xian)了多點采樣、氣體自(zi)動吸(xi)收富集(ji)、在(zai)線(xian)(xian)質量控制等全(quan)自(zi)動在(zai)線(xian)(xian)監(jian)測(ce)(ce)功(gong)能，解決了潔凈室AMC監(jian)測(ce)(ce)過程中(zhong)人員投入大、數(shu)據監(jian)測(ce)(ce)頻率低、數(shu)據反饋不及時等問題；可應用于半導體廠區氣態分子污染物(wu)（AMC）中(zhong)酸(suan)性物(wu)質（MA）、堿(jian)性物(wu)質(MB)污染物(wu)的在(zai)線(xian)(xian)監(jian)測(ce)(ce)。
產品特點
數據(ju)可靠
系統實現(xian)了自動(dong)遠距離采(cai)樣、自動(dong)富集(ji)吸收、自動(dong)質(zhi)量控制、自動(dong)分析、數據(ju)自動(dong)上(shang)傳(chuan)全(quan)流程自動(dong)化。
避免人工(gong)誤差引入，數據準確可靠。
靈敏度高
大體積進(jin)樣濃(nong)縮(suo)(suo)，大幅提高系(xi)統檢測能力，檢出限可達亞(ya)ppt級，縮(suo)(suo)短(duan)系(xi)統運行(xing)周期(qi)。
監(jian)測面(mian)廣
單套系統最多可(ke)配置32個點位的樣品采集；
系統通過真(zhen)空泵(beng)遠距離(li)采(cai)樣(yang)(yang)，可覆(fu)蓋300m范圍內樣(yang)(yang)品的在(zai)線監測(ce)。
設(she)計合規
系統管路(lu)及閥組采用潔(jie)凈的(de)聚四氟乙(yi)烯材料(liao)設(she)計(ji)，滿足SEMI F57中相關析出雜質的(de)控制要求。
吸收高(gao)效
在線雙吸(xi)收模塊(kuai)設計(ji)，有利(li)于節約樣品(pin)分析時間(jian)，數據(ju)輸(shu)出更(geng)快更(geng)高效！
應用領域
AAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統主要應用于潔凈室環境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監測，可擴展至大氣中離子污染物的檢測。
