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產品概述
FAAS 8000ICS 在(zai)線陰(yin)陽(yang)離子監(jian)測(ce)(ce)系統采用(yong)撞擊式(shi)氣體吸收技術結(jie)合離子色譜分(fen)析方(fang)法，實(shi)現了多點采樣、氣體自動(dong)吸收富集、在(zai)線質(zhi)量控制等全(quan)自動(dong)在(zai)線監(jian)測(ce)(ce)功(gong)能，解決了潔凈室AMC監(jian)測(ce)(ce)過程中人(ren)員投入大、數(shu)據(ju)監(jian)測(ce)(ce)頻率低、數(shu)據(ju)反饋(kui)不及時等問題；可應用(yong)于半導體廠區(qu)氣態分(fen)子污染物(wu)（AMC）中酸性(xing)物(wu)質(zhi)（MA）、堿(jian)性(xing)物(wu)質(zhi)(MB)污染物(wu)的在(zai)線監(jian)測(ce)(ce)。
產品特點
數據可靠
系統實現了自動(dong)(dong)遠距(ju)離采(cai)樣、自動(dong)(dong)富(fu)集吸(xi)收、自動(dong)(dong)質量控(kong)制、自動(dong)(dong)分析、數據(ju)自動(dong)(dong)上(shang)傳(chuan)全流(liu)程自動(dong)(dong)化。
避免人(ren)工誤差(cha)引入，數據準(zhun)確可靠。
靈敏度高
大體積進(jin)樣濃縮，大幅提高系統檢測能(neng)力，檢出限(xian)可達(da)亞ppt級，縮短系統運(yun)行周期(qi)。
監測(ce)面廣
單套系統最多可配置32個(ge)點位(wei)的樣(yang)品采(cai)集；
系統通過真空泵遠距(ju)離采樣，可覆蓋(gai)300m范(fan)圍內樣品的在線監(jian)測。
設(she)計合規(gui)
系(xi)統管(guan)路及閥組采用潔凈的(de)聚四(si)氟乙烯(xi)材料設計，滿足SEMI F57中相(xiang)關(guan)析出雜質的(de)控制(zhi)要(yao)求。
吸收高效
在線雙吸收模(mo)塊設計(ji)，有利于(yu)節約樣(yang)品分(fen)析時間(jian)，數據(ju)輸出更(geng)快更(geng)高效！
應用領域
AAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統主要應用于潔凈室環境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監測，可擴展至大氣中離子污染物的檢測。
